l光视:晶圆和裸片级光子学探测技术的革命性进步,实时原位校准,单模测试,真正的芯片级边缘耦合,原位功率测量,先进的校准技术,实现自主测量。
l水平模级边缘耦合:测试结果的最高准确性,最低的耦合损耗,独家自动化的光纤到小平面对准技术,可重复获得测量结果,通过防撞技术降低损坏光纤的风险,经验不足的用户易于使用,能够紧密模拟现实条件,并且设备性能最接近最终应用。
l晶圆级边缘耦合:硬件和软件功能的创新组合,可在晶圆级沟槽中对准和优化光纤/阵列,最小的沟槽尺寸将耦合损耗降至最低,即使经验不足的用户也可以轻松设置,独特的光纤到端面间隙对齐技术,可重复获得测量结果,通过防撞技术降低损坏光纤的风险。
l垂直联轴器:垂直耦合至晶圆级光栅耦合器的行业标准,定位硬件已精确地校准到探针台,并准备在几分钟之内执行管芯到管芯的光学优化,独有的枢轴点校准可确定光纤/阵列尖端最小平移的最佳点,Search First Light功能可自动确定初始位置以进行优化,其他集成功能:入射角校准,光学旋转扫描,光学扫描数据分析,光学跟踪,对准光学探头。
l热能力:黑暗,屏蔽且无霜,-40°C至+ 125°C,唯一可用的解决方案可以在低温下最大程度地减少气流对光纤/光纤阵列的影响,从而获得稳定和可重复的测量结果,独特的ITO涂层TopHat窗口,易于设置,可在多个温度下进行免提自动校准和重新校准。
l联盟掌握了SiPh测试解决方案的关键:强大的首选合作伙伴关系是德科技测量仪器,测试执行器自动化并集成到Keysight Pathwave自动化测试,世界一流的精密定位,成为首选合作伙伴物理仪器(PI),通过创新的工程团队充分利用专业知识。
l独家自动校准:领先的自动化功能集,可对探针台进行光学定位系统的关键校准,循序渐进的晶圆探测高度训练,CalVue利用独特设计的后视镜技术无需外部光线即可查看光纤/阵列的所有方面,并实现实时实时自动校准,其他独家校准功能:电机校准,z位移校准,θ校准,pzt校准,平面度校准,自动枢轴点校准。
l经验证的性能:独家FormFactor开发的自动化测试方法,通过测量耦合功率的可重复性,展示了已校准至探针台的定位解决方案的全部性能,验证900次测量中的耦合功率结果是否小于0.3 dB,在每次测量之间,所有溶液元素都将移动,包括晶片卡盘,六脚架台和压电台架,真正展示了FormFactor自主硅光子学测量助手的综合性能和耐用性。
lFormFactor SiPh-工具:强大的FormFactor开发的软件包,包括一个广泛的工具集,用于启用和促进光学探测,通过将探针台机器视觉功能与光学定位和测试设备集成在一起,使手动任务自动化,功能:测量位置培训,晶圆培训,自动对准功能,校准晶圆验证,光学对准验证,子管芯管理,多种工具,用于捕获,记录和解释数据。
lFormFactor光子控制器接口(PCI):FormFactor开发的图形用户界面可手动控制光学定位系统,也可用于设置扫描参数配置并执行初始光学对准功能,对齐后,所有校准功能将自动实现,并通过SiPh-Tools执行。
l可重构光纤臂:可在单光纤,光纤阵列和边缘耦合器固定器之间配置,针对工程和批量环境的灵活性,更换光纤支架之后,FormFactor的自动校准程序将使您在几分钟内备份并运行,定制设计的纳米精度集成Z位移传感器最大程度地提高了晶片的可测试区域,并确保了准确且可重复的数据收集。