光源从Keysight 5517系列激光器发出，通过应用分光镜/干涉镜/转折镜等，入射客户的待测光学组件，出射后再通过镜组连接光纤最终回到接收器。整个光路形成闭环，当待测组件发生位移，可通过软件读取数据。

实现了精密运动台闭环测量系统后,通过实验对其定位精度及运动精度进行分析,由实验数据可知,其X、Y、Z单轴重复定位精度、三轴重复定位精度及不同速度下的定位精度都较高,且通过多次测量得到的误差曲线波动较小,控制系统稳定可靠。