8寸探针台
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Summit200为研发、器件表征、建模或者小批量生产而设计,确保低噪声、DC、RF、

mmW和THZ的精确测量,确保以最快的速度获取精确数据,可以提供半自动或者全自动方案。

Summit200为研发、器件表征、建模或小批量生产而设计,确保低噪声、DC、RF、mmW和THz的精确测量,确保以最快的速度获取精确数据,可提供半自动或全自动方案。

新一代探针台采用PureLineTM技术,实现目前市场上的最低噪声测量方案。AttoGuard®和MicroChamber®专利技术显著提升低漏电和小电容的测试精度。新型快速200mm上料平台一次性可放50片晶圆的高吞吐量,-60℃到300℃的宽温度范围为科学家、研发人员、测试工程师和生产操作人员快速完成任务所需的一切。

SUMMIT200探针台支持Contact Intelligence™–一种实现自主半导体测试的独特技术。创新的系统设计和先进的图像处理功能的强大组合提供了独立于操作员的解决方案,可在任何时间和温度下获得高度可靠的测量数据。

凭借广泛的应用领域和满足任何未来需要的升级途径,SUMMIT200 提供了最高级的 200 mm 探针台平台,以实现现有及未来器件和 IC 的快速、高准确度和大容量测量。


  • 产品特点
  • 主要参数

l佳的IV / CV测量方案,PureLine,AutoGuard和下一代MicroChamber技术为高精度低噪声和1/f测量提供保证

l借助成套的射频测量工具和Wincal,可以实现无与伦比的射频/mmW(毫米波)校准和测量

l高通量UT / MT(多种温度下的无人值守测试)与VueTrack™和高温稳定性(HTS)技术

leVue数字成像系统具有增强的光学可视化,快速设置以及管芯和晶圆导航功能

l电动针座和VueTrack专业版 实现主动热补偿和精准亚微米级定位

l只加热或者-60°C 至 +300°C 的完整温度范围可选择,温度迁移效率比市场上其他系统快15%

lMicroVac™和FemtoGuard™技术,提供超低的测量噪声和可控的漏电流,低残余电容确保重复先进测量的精度和速度

l全面的对齐功能–从简单的晶圆对齐和对位到先进的自动化半导体测量,实现变温条件下自动探针到pad对准


8寸探针台

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