l佳的IV / CV测量方案,PureLine,AutoGuard和下一代MicroChamber技术为高精度低噪声和1/f测量提供保证
l借助成套的射频测量工具和Wincal,可以实现无与伦比的射频/mmW(毫米波)校准和测量
l高通量UT / MT(多种温度下的无人值守测试)与VueTrack™和高温稳定性(HTS)技术
leVue数字成像系统具有增强的光学可视化,快速设置以及管芯和晶圆导航功能
l电动针座和VueTrack专业版 实现主动热补偿和精准亚微米级定位
l只加热或者-60°C 至 +300°C 的完整温度范围可选择,温度迁移效率比市场上其他系统快15%
lMicroVac™和FemtoGuard™技术,提供超低的测量噪声和可控的漏电流,低残余电容确保重复先进测量的精度和速度
l全面的对齐功能–从简单的晶圆对齐和对位到先进的自动化半导体测量,实现变温条件下自动探针到pad对准