微扰法是根据介质样品放人金属谐振腔前后腔体谐振频率和品质因数的变化推算出介质试样的复介电常数，由于样品位于谐振腔中心(电场最强处)，样品对腔体电磁场的扰动可以近似看成只发生在样品处，通过求解可得到复介电常数的实部和虚部。
圆柱形微扰法相较于波导型微扰法有精度更高，可测量更低损耗材料的特点，和创科技推出了MTF-7100系列谐振腔微扰法产品，已远销海外，设计开发本产品参考标准为ASTM D2520。