l灵活性:用于晶圆的不同基板载体可达100 mm或单个模具,多达六个定位器,用液氮或氦使用,根据目标温度,与大气中的条件下,一个开放的腔室盖可以探测,专为实验室环境,涵盖广泛的测量(I-V、C-V、RF、MEMS、OPTO)。
l稳定性:独立冷却冷屏,探针座被置于真空室的内部,短且稳定的探针臂,具有内置隔振设计的坚固探针台框架,冰和探测下降到77 K(液氮)或低于7 K(液态氦)无冷凝,精确的探针定位,卓越的测量准确度和重复精度,极佳的减振作用。
l简单易用:人体工学和简单的设计,简单的显微镜操作,铰接顶面盖,舒适和简易的操作,DUT 的快速且符合人体工程学的变更,顶侧获得探针和样品。
l高测量吞吐率:线性载物台和定位器的独立控制,接触/分离行程探针压板,整个晶圆的快速、手动“分步及重复”测试,所有探针的同时接触和分离。