微扰法是根据介质样品放入金属谐振腔前后腔体谐振频率和品质因数的变化推算出介质试样的复介电常数，由于样品位于谐振腔中心 ( 电场最强处 ), 样品对腔体电磁场的扰动可以近似看成只发生在样品处，通过求解可得到复介电常数的实部和虚部。

通过大量的试验验证，和创科技推出了MTF-7000系列谐振腔微扰法产品，通过智能软件MTS-7000自动控制VNA读取参数，并自动计算出Dk和Df值，尤其适合棒状/细条状低损材料的测量，这种非接触式测量技术具有操作相对简单、所需的介质样品少、制样相对简单、测量精度高、应用范围广等优点, 尤其适合于低损耗介质的测量，设计开发本产品参考标准为ASTM D2520。