光源从Keysight 5517系列激光器发出，应用10717A波长跟踪器和多轴测量镜组进行测试。跟踪空气折射率的变化，对环境变化进行光学补偿，以减小环境温度等因素影响波长轻微变化所带来的结果偏差。多轴系统客户的位移台发生一个极小的位移，可通过软件读取数据，这个数据分辨率在纳米级。

半导体光刻测量系统，被测物与探测系统之间一般要产生相对运动才能测出所需参数。 位移系统的作用就是产生探针相对于样品的扫描运动，是其中最基础的部分。激光干涉仪对光刻系统中平台、运动控制系统、自动对位系统等进行校准，保证系统的稳定性。