随着射频与毫米波器件向更高频率和更紧凑布局发展,晶圆测试中的校准已成为实际瓶颈。传统校准方法无法处理探针间耦合与串扰问题——特别是在高密度多端口探针配置中。这往往导致测量数据看似准确,却无法真实反映器件实际性能。
WinCal® 5.1射频校准与测量软件针对此问题推出创新功能,通过解决复杂环境下的校准挑战,帮助工程师在器件复杂度持续提升的背景下,获得真正可信的晶圆级射频数据。

WinCal 5.1 新增功能:用于串扰校正的模态校准
WinCal 5.1 最重要的新增功能是模态校准。这是一种全新的校准方法,能直接处理探针内部的耦合效应——这是早期WinCal版本及传统校准技术都无法修正的问题。
模态校准采用32项误差模型来消除紧密排布的信号路径之间的串扰,为差分和混合模式测量提供更符合物理真实性的结果。这对从事以下领域工作的工程师而言,是一个意义重大的进步:
• 信号间距紧凑的4端口GSSG探针配置
• 毫米波频率下的差分及混合模式测量
• 6G研究和77GHz汽车雷达等应用
• 配合InfinityXF™探针(最高支持250GHz)进行的高频探测
重要的是,这项全新的校正功能无需额外硬件或复杂流程。模态校准已直接集成至WinCal现有的SOLT工作流中。工程师只需在4端口校准方案中启用该选项,WinCal便会自动执行额外测量,并以熟悉的一键式流程同步计算出标准误差集与模态增强误差集。

全新仪器支持与更优测量溯源性
除了校准功能本身,WinCal 5.1还扩展了兼容性与实用性。
新增的罗德与施瓦茨ZNL系列矢量网络分析仪驱动程序,解决了早期版本出现的校准传输问题,提升了原始测量与校正测量的稳定性。这使得WinCal 5.1成为采用ZNL仪器团队的更可靠选择。
另一项改进在于优化了溯源性。WinCal 5.1现可将矢量网络分析仪的激励设置与误差集信息直接嵌入测量数据中。无论是数日后复查结果,还是跨团队共享数据,都能更轻松地理解数据集的生成过程。
更清晰的报告功能与更强的自动化支持
WinCal 5.1 还优化了报告功能。校正后的测量报告现在会自动标注校准所使用的误差集,从而减少歧义和人工核查。新增的性能相关选项使用户能在保持稳定性的同时,更高效地执行大批量测量任务。
在自动化环境中,WinCal 5.1 扩展了远程控制能力,使其更易于将高级校准与校正功能集成到外部测试框架和自定义脚本中。这使得无论是在实验室还是在自动化晶圆测试设备中,团队都能始终如一地应用更高级别的校准方案。
晶圆级射频测试的切实进步
WinCal 5.1不仅是一次常规升级。通过引入模态校准、增强仪器支持、优化溯源能力并扩展自动化功能,本版本直接解决了在高频及高密度探针布局下已无法回避的测量挑战。
对于致力于探索射频与毫米波器件性能极限的工程师而言,WinCal 5.1为在晶圆测试中获取更具物理真实性和可靠性的数据,提供了更坚实的基础。
如需获取WinCal 5.1新功能的更多详情,请联系我们获取详细的技术资料及支持。