我司为中国计量科学研究院提供的Keysight 5519系列激光干涉仪，构成了80m大长度测量测系统。该装置为国内最长、精度最高的大长度标准装置基准，实现了测量范围80m，测量不确定度0.07um+0.07×10-6L (k=2)，达到国际先进水平。

通过上图所示的三台激光干涉仪和相应镜组，一次性完成xyz三轴光路的校准测试。极大的提高了测试、检定效率，即使在横向最远端也可进行另外两个轴的校准。