4寸手动超低温探针台
4寸手动超低温探针台
4寸手动超低温探针台
4寸手动超低温探针台

入门级手动低温晶圆探测<7 K.

PLC50是高精度,高性价比的探针台,适用于在高真空环境下达到100 mm的晶圆和基板低温用液氮低至77 K或用液氦低至7 K.它专为实验室要求而设计,支持广泛的应用,包括最新硅,化合物半导体和超导体器件的直流和射频测量,MEMS和光电测试。

  • 产品特点
  • 主要参数

l灵活性:用于晶圆的不同基板载体可达100 mm或单个模具,多达六个定位器,用液氮或氦使用,根据目标温度,与大气中的条件下,一个开放的腔室盖可以探测,专为实验室环境,涵盖广泛的测量(I-V、C-V、RF、MEMS、OPTO)。

l稳定性:独立冷却冷屏,探针座被置于真空室的内部,短且稳定的探针臂,具有内置隔振设计的坚固探针台框架,冰和探测下降到77 K(液氮)或低于7 K(液态氦)无冷凝,精确的探针定位,卓越的测量准确度和重复精度,极佳的减振作用。

l简单易用:人体工学和简单的设计,简单的显微镜操作,铰接顶面盖,舒适和简易的操作,DUT 的快速且符合人体工程学的变更,顶侧获得探针和样品。

l高测量吞吐率:线性载物台和定位器的独立控制,接触/分离行程探针压板,整个晶圆的快速、手动“分步及重复”测试,所有探针的同时接触和分离。


XY行程:50mm*50mm或者80mm*80mm

解析度:5um

接触分离高度:250um

显微镜变倍:7X

放大倍率:0.38X-2.6X

视野大小:12.8 mm x 17.1 mm to 1.8 mm x 2.4 mm

最高温度:400K或者可选675K

最低温度:7K(最终的温度取决探针的数量与类型)

真空室:600*300(R*H)

定位器:VCP110高真空探头定位器最多6个

定位器行程XYZ:12mm

真空值:5E-5mbar

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